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科民ALD實現(xiàn)2.5s/cycle成膜
【概要描述】科民電子具有勻氣可更換雙腔，1cycle時長縮減到2.5s
- 分類：公司新聞
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- 發(fā)布時間：2020-06-01
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科民電子具有勻氣可更換雙腔，1cycle時長縮減到2.5s
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