11月21日，Nano Energy期刊上發表了Atomic Layer Deposition-Enabled Ultrastable Freestanding Carbon-Selenium Cathodes with High Mass Loading for Sodium-Selenium Battery的研究論文，論文報道了深圳大學在鈉-硒電池正極材料的最新研究成果。共同通訊作者為深圳大學的張培新教授與佐治亞理工學院的林志群教授，第一作者是深圳大學的馬定濤和李永亮博士。在此嘉興科民電子設備技術有限公司祝賀各位老師在高質量電池領域取得了喜人成果。

　　圖1.（左）為深圳大學使用的嘉興科民電子設備技術有限公司生產的等離子增強型原子層沉積設備。（右）文章封面圖片：鈉-硒電池的氧化鋁包覆的硒/多孔氮摻雜碳納米纖維復合電極制備過程以及充放電循環穩定性測試

　　研究人員在制備鈉-硒電池的氧化鋁包覆的硒/多孔氮摻雜碳納米纖維復合電極(SC@Se-Al2O3)中使用了嘉興科民電子設備技術有限公司生產的等離子增強型原子層沉積設備（PE-ALD），在納米纖維表面制備了納米級的氧化鋁(Al2O3)功能層，研究結果表面：原子層沉積(ALD)可以調節電極的電化學性能，提高活性物質負載量和循環穩定性，得到高負載量、高穩定性、自支撐的碳-硒正極材料。經過對各材料參數進行試驗后發現電子最優性能為電極種硒含量為67 wt%, 表面包覆的Al2O3薄膜厚度為3 nm。該論文對未來高負載量、高穩定性電極的研發指明了一個新的研究方向。

圖2.嘉興科民電子設備技術有限公司生產的（左）熱型原子層沉積設備（右）Loadlock生產型原子層沉積設備

圖3.嘉興科民電子設備技術有限公司生產的（左）高溫管式ALD設備（右）手套箱集成原位檢測原子層沉積設備