具有LOAD-LOCK腔室的ALD機臺

　　近日，嘉興科民電子設備有限公司生產(chǎn)型原子層沉積設備成功通過大型微電子、MEMS制造企業(yè)產(chǎn)線驗證，成為國內(nèi)首個進入大批量制造產(chǎn)業(yè)化市場的原子層沉積機型。

雙方工程師在ALD設備前合影留念

　　在生產(chǎn)線上，工廠技術人員及科民駐廠工程師對該機型進行了3個月的嚴格驗證。均勻性、重復性、溝槽覆蓋性、顆粒度、生產(chǎn)效率、可靠性等方面的測試均表明，科民電子原子層沉積系統(tǒng)的設備質(zhì)量和技術指標達到了國際領先水平，足以滿足大批量連續(xù)生產(chǎn)的需要。

　　科民電子原子層沉積系統(tǒng)在大規(guī)模生產(chǎn)線的成功驗證，打破了進口設備在產(chǎn)業(yè)化市場的壟斷地位，替代了相關行業(yè)的進口設備，是微電子、MEMS、光伏、LED等行業(yè)技術創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級的重要動力。